瓦斯泵-众邦真空泵-瓦斯抽放泵

10、罗茨泵的前级抽速：

S＝(0.1~0.2)S罗 (l/s)

11、漏率：

Q漏＝V(P-two-P1)/(t2-t1)

Q漏－系统漏率(mmHg·l/s)

V－系统容积(l)

P1－真空泵停止时系统中压强(mmHg)

Ptwo－真空室经过时间t后达到的压强(mmHg)

t－压强从P1升到Ptwo经过的时间(s)

12、粗抽泵的抽速选择：

S＝Q1/P预 (l/s)

S=2.3V·lg(Pa/P预)/t

S－机械泵有效抽速

Q1－真空系统漏气率(托·升/秒)

P预－需要达到的预真空度(托)

V－真空系统容积(升)

t－达到P预时所需要的时间

Pa－大气压值(托）

13、前级泵抽速选择：

排气口压力低于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等，它们工作时需要前级泵来维持其前级压力低于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的很大气体量排走，瓦斯泵厂家，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：

PnSg≥PgS 或

Sg≥Pgs/Pn

Sg－前级泵的有效抽速(l/s)

Pn－主泵临界前级压强(很大排气压强)(l/s)

Pg－真空室较gao工作压强(托)

S－主泵工作时在Pg时的有效抽速。(l/s)

水环真空泵　　泵的叶轮转子旋转而产生水环。由于转子偏心旋转而使水环与叶片间容积发生周期性改变而进行抽气的机械真空泵。　　往复真空泵　　利用活塞的往复运动而进行抽气的机械真空泵。 油封机械真空泵　　用油来保持密封的机械真空泵，可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式等。罗茨真空泵　　具有一对同步高速旋转的鞋底形转子的机械真空泵，瓦斯泵，此泵不可以单独抽气，前级需配油封、水环等可直排大气的真空泵

真空机组系统常用名称　　(1)主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。

　　(2)前级泵：用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。

　　(3)粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。

　　(4)维持泵：在真空系统中，瓦斯泵选型，气量很小时，不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。