旋片真空泵工作原理
旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强范围为101325~1.33×10-2(Pa)属于低真空泵。它可以单独使用,也可以作为其它高真空泵或**高真空泵的前级泵。旋片泵可以抽除密封容器中的干燥气体,若附有气镇装置,还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的,对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。旋片泵是真空技术中基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵
机泵同轴式直联设计,节省空间,易于安装。
· 2BV系列全部设有气蚀保护管接口,如在极限压力下工作,2bv5161水环式真空泵,开启气蚀保护管接口(或与分离器连接)可在较da限度保证吸气效果的情况下消除气蚀声,并对泵进行保护。
· *特的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV在其性能范围内效率优良。
机泵同轴式直联设计,节省空间,水环式真空泵,易于安装。
· 2BV系列全部设有气蚀保护管接口,2bv5110水环式真空泵,如在极限压力下工作,开启气蚀保护管接口(或与分离器连接)可在较da限度保证吸气效果的情况下消除气蚀声,并对泵进行保护。
· *特的柔性排气口设计,不会产生过压缩,确保了2BV在其性能范围内效率优良。
真空机组系统常用名称 (1)主泵:在真空系统中,用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的真空泵,2bv5131水环式真空泵,如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
(2)前级泵:用于维持某一真空泵前级压强低于其临界前级压强的真空泵。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
(3)粗抽泵:从大气压下开始抽气,并将系统压力抽到另一真空泵开始工作的真空泵。如真空镀膜机中的滑阀泵,就是粗油泵。
(4)维持泵:在真空系统中,气量很小时,不能有效地利用前级泵。为此配置一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作,此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵,就是维持泵。