液环真空机组-宁夏真空机组-众邦真空泵

水环真空泵可以抽气后再抽水吗？答案是否定的，下面来介绍一下。

　　1、如果用水环真空泵抽水必须把水环真空泵的供水给停掉，否则会造成真空泵负荷很高，造成电机烧毁。

　　2、如果用水环真空泵来抽水，必须合适的情况下，不知道真空泵型号是单泵还是机组的话，水环真空机组，还是不要冒这个险。

　　3、如果罐里是负压你可以在罐上加个滤液泵（克负泵），或使用个真空自动排水罐。

　　所以说，抽真空机组，为了安全，水环真空泵不可以抽气后再抽水。

半导体工艺真空主要用在蒸发，溅射，PECVD，真空干法刻蚀， 真空吸附，测试设备，真空清扫等等键合工序，宁夏真空机组，半导体生产制造过程中容易产生yi燃易bao以及有毒的物质气体，会对生产及人员安全造成威胁，因此，水环式真空泵应用时需要注意的几个安全事项：

1、定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，避免**压

半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能较为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或**压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，并在必要的时候设置过滤设备。

2、有效稀释有害气体的浓度

半导体易产生前面所说的yi爆、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质，在与空气或氧接触的时候，会引起燃烧甚至爆；氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时，需要用氮气之类的惰性气体，在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。

3、注意氧气的浓度

空气中的氧如果浓度过高也会发生燃烧及爆风险。所以一些情况下需注意氧的浓度，采用惰性气体来稀释，防止浓度过高；假设是油封机械泵可能还需要采用一些惰性的与氧相容的真空泵油，并及时更换油滤和油品。

4、防止温度过高

比较容易理解这点，半导体在真空泵的应用中，有害气体比较多，而无论是干式真空泵还是油封机械泵，泵腔内温度过高，高温下易ran爆及有毒气体就会容易发生危险。

当我们在使用真空泵的时候，需要注意到在导体中的使用安全注意事项吗，以及后期再使用时做好操作使用。

水环式真空泵较初用作自吸水泵，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，水环泵得到广泛的应用。由于水环式真空泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环式真空泵应用日益增多。

水环式真空泵较初用作自吸水泵，如真空过滤、真空引水、真空送料、真空蒸发、真空浓缩、真空回潮和真空脱气等，液环真空机组，水环泵得到广泛的应用。由于水环式真空泵中气体压缩是等温的，故可抽除易燃、易爆的气体，此外还可抽除含尘、含水的气体，因此，水环式真空泵应用日益增多。